▶ 複数NGのある部品を再作業する際にPASS Bufferで進行

▶ インスペクションATM Check時に再作業部品として製造を開始する機能

▶ UNOLLER PART ATM点検時、LOAD PORT代替ローディングシステムを適用

▶ AIRCHUCK 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)ウェハーすべて作動

▶ 独自開発したSPC SWを利用してデータ、不良イメージ、 チャートなど指定されたデータを

    出力しモニタリング可能

▶ PEMTRON SMARTRONサーバーシステムで一つの運営PCを通じて各機器を見て制御し、

   すべての機器の運営状態およびSPC DATAをモニタリング可能

▶ 3D検査方法論を用いてBUMP検査処理

▶ 優れた検査精度に基づいて欠陥を点検し、デバッグするためのリソース削減